干式真空泵的應用

點擊次數:   更新時間:19/07/17 16:57:07     來源:www.iwania.com關閉分    享:

  干式真空泵又稱無油干式機械真空泵,是一種環保機械。該設備能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。因此,在很多領域有廣泛應用,主要有以下幾個方面:
  1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
  2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
  4、在化學工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
  5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染;
  干式真空泵的應用主要是對環境有特殊要求的行業,保障產品不被其它物質污染,確保產品的純凈度以及產品質量。

                                              干式真空泵

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