干式無油真空泵的工作原理

點擊次數:   更新時間:19/08/16 15:30:08     來源:www.iwania.com關閉分    享:

  干式無油真空泵是諸多真空泵中的一種,它可以做到泵內無油工作而且工作效率跟油封式真空泵接近。表現如此好跟它的結構和工作方式有關,詳細的工作原理如下:
  干式無油真空泵的工作原理是利用一對螺桿在螺桿泵腔內進行同步高速運行。兩個轉子、泵體和側蓋組成多個腔室,實現吸排功能。這些室有規律地從真空泵的入口側移動到出口側,以便氣體在低速渦流中傳輸。真空泵的連續運行不會改變氣體的流向,使氣體在一定范圍內被細小顆粒夾帶并被抽出蒸汽。工作時,兩螺桿之間無直接摩擦,泵腔不需潤滑油,機器穩定,產生的聲音小。變螺距結構的真空泵真空度更高,有著良好的間隙設計和連續的壓縮方式,能耗更低,節能型設計理念,可降低30%的電能消耗,是油封式真空泵良好的替代產品。在半導體工業中,油封真空泵可以用干式泵代替,大大改善了工作環境的質量,進一步提高了產品的質量和性能。

                                                  干式無油真空泵

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